國內(nèi)壓力傳感器技能介紹

點擊次數(shù)：1362 更新時間：2015-08-13

國內(nèi)壓力傳感器技能介紹

上海五久自動化

　　壓力傳感器是指將壓力轉(zhuǎn)換為電信號輸出的傳感器。壓力傳感器通常由彈性靈敏元件和位移靈敏元件（或應(yīng)變計）組成。彈性靈敏元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變，然后由位移靈敏元件或應(yīng)變計轉(zhuǎn)換為與壓力成必定關(guān)系的電信號。有時把這兩種元件的功用集于一體。壓力傳感器廣泛使用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、出產(chǎn)自控、、石化、油井、電力、船只、機床、管道等很多職業(yè)。
    力學(xué)傳感器的種類繁復(fù)，但常用的壓力傳感器有電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。使用的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。
    中國壓力傳感器商場主要是工業(yè)自動化操控范疇，和汽車范疇。在工控范疇里目前中國絕大部份選用分散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國內(nèi)廠家出產(chǎn)面廣量大的即是分散硅壓力傳感器。在國內(nèi)，西安市是中國笫二個五年計劃里要點開展壓力系列傳感器的主要城市，陜西寶雞市在省會城市西安的股動下，由原秦嶺晶體管廠進行技能改造，和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司，為中國分散硅壓力傳感器出產(chǎn)創(chuàng)始了先河。但MEMS技能和前道硅片制作技能仍操控在外國廠家手里。
    國內(nèi)從事硅電容壓力傳感器的研討可以說是剛剛起步。雖然國內(nèi)已經(jīng)有單位研發(fā)出了硅電容傳感器，它的精度和靜壓特性已挨近富士公司商品的平均水平，但在長時間穩(wěn)定性方面，距離較大。一起，國內(nèi)的電容傳感器在高差壓和微差壓標(biāo)準(zhǔn)的開發(fā)上仍有較大距離。國外壓阻式傳感器精度可以達到0.075%，而國內(nèi)研發(fā)的壓阻式傳感器的精度只要0.1%。在長時間穩(wěn)定功能上，國產(chǎn)傳感器和進口傳感器的距離更為顯著。國產(chǎn)商品長時間穩(wěn)定性的指標(biāo)為0.1%/年，比國外商品zui少高2倍。別的，國產(chǎn)商品的溫度特性差。與國外商品比較，溫度漂移比國外商品的典型值大50%～100%。此外，國產(chǎn)商品的標(biāo)準(zhǔn)種類不夠全，在微差壓和高差壓、高靜壓標(biāo)準(zhǔn)方面沒有成熟的商品，不能滿意某些技術(shù)的特殊要求。
    壓力傳感器的國產(chǎn)化疑問的要害主要是怎么進步傳感器的長時間穩(wěn)定性。傳感器的長時間穩(wěn)定性和傳感器的資料選擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計、加工技術(shù)密切有關(guān)。中國在MEMS加工技術(shù)上還處于相對落后期間，進步技術(shù)水平無疑是進步傳感器功能的久遠之計。
    目前，國內(nèi)有關(guān)高校和科研院所對壓阻式和電容式MEMS傳感器進行了很多的研討，在理論和技術(shù)水平上都取得了一些效果。就當(dāng)前技術(shù)水平而言，假如可以實現(xiàn)某種方式的抵償或許在線的自標(biāo)定方法，則有可能在短期內(nèi)進步傳感器的長時間穩(wěn)定性，使國產(chǎn)傳感器在穩(wěn)定性指標(biāo)上滿意石化職業(yè)需要。

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